咸陽陶瓷研究院從事氣相沉積爐研發(fā)、生產(chǎn)多年，我公司生產(chǎn)的化學氣相沉積爐主要用于以碳氫氣體（如C3H8\CH4等）為碳源的材料表面或基體的CVD/CVI處理。
此款氣相沉積爐的特點：
化學氣相沉積爐采用的控制技術，能精密控制氣體的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動范圍??；
同時采用特殊結(jié)構沉積室，密封效果好，抗污染能力強；
采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
對沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物能進行有效處理；
氣相沉積爐采用防腐蝕真空機組設計，持續(xù)工作時間長，生產(chǎn)效率高，維修率低。
